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应用于空间惯性传感器的压电驱动器的性能测试 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 02, 页码: 344-353
作者:  李华东;  齐克奇;  石强;  王少鑫;  王智
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精密驱动  尺蠖运动  压电驱动器  驱动力  位移分辨率  
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:  Fang, Chao;  Xiang, Yang;  Qi, Keqi
浏览  |  Adobe PDF(403Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：259/100  |  提交时间：2019/09/17
Aberrations  Crosstalk  Interferometry  Measurement  Photolithography  Shearing  Wave interference  Wavefronts