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| 中阶梯光栅拼接及复制技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 丛敏
 caj(6456Kb) |  收藏 | 浏览/下载：95/0 | 提交时间：2020/08/24
光栅拼接 中阶梯光栅 拼接误差 干涉法 误差分析 |
| Interference Fringe Locking by Grating-Shifting Holographic Grating Exposure 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 5
作者: Song, Y.; X. Zhao; Y. Jiang; Bayanheshig and X. Qi
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| Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig
浏览 | Adobe PDF(4373Kb) | 收藏 | 浏览/下载：271/80 | 提交时间：2018/06/13 |
| Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1
作者: Liu, Z. ; W. Li; Bayanheshig; Y. Song; S. Jiang; X. Li and Q. Lu
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| Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 9
作者: Liu, Z.-W.; W.-H. Li; J.-K. Wang; S. Jiang; Y. Song; M.-Z. Pan and Bayanheshig
浏览 | Adobe PDF(624Kb) | 收藏 | 浏览/下载：306/87 | 提交时间：2017/09/11 |
| Detection and calculation of mosaic grating error based on wavefront method 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 5
作者: Lu, Y.; X. Qi; X. Mi; S. Jiang; H. Yu; X. Li and L. Yin
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| 红外宽光谱高衍射效率衍射光学元件设计及应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 毛文峰
Adobe PDF(5153Kb) | 收藏 | 浏览/下载：363/1 | 提交时间：2015/05/03
光学设计 衍射光学元件 高衍射效率 红外光学系统 金刚石单点车削 |
| 全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 宋莹
Adobe PDF(5623Kb) | 收藏 | 浏览/下载：484/2 | 提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光 扫描干涉场曝光 干涉条纹 移频式 静态相位锁定 动态相位锁定 Aom |
| 超声强化液固传质动力学模型与硅中阶梯光栅湿法刻蚀技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 焦庆斌
Adobe PDF(5377Kb) | 收藏 | 浏览/下载：276/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| 液晶/聚合物光栅激光器的制备研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 黄文彬
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