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绝对式光栅尺母尺刻划曝光系统 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 7, 页码: 1814-1819
作者:  刘华;  卢振武;  熊峥;  王尧;  王鹤;  黄剑波;  谭向全;  孙强
caj(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：339/117  |  提交时间：2015/04/17
绝对式光栅尺  光栅码道  母尺刻划  数字微镜器件  曝光头  计量光栅  
绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计 期刊论文
机电产品开发与创新, 2014, 期号: 2, 页码: 108-109+79
作者:  郑黎明;  谭向全
caj(482Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：287/98  |  提交时间：2015/04/17
绝对式光栅尺  母尺光栅  刻划装置  曝光光源  
小型光电编码器细分误差补偿法 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2011, 卷号: 25, 期号: 7, 页码: 605-611
作者:  孙莹;  万秋华;  佘容红
Adobe PDF(763Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：440/137  |  提交时间：2012/05/11