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光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 09, 页码: 35-39
作者:  张德福;  李显凌;  东立剑;  孙振
caj(2020Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：278/79  |  提交时间：2016/07/06
耦合误差  光刻  物镜  偏心调节机构  柔度矩阵法