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The effect of ultrasonic vibration and surfactant additive on fabrication of 53.5 gr mm silicon echelle grating with low surface roughness in alkaline KOH solution 期刊论文
Ultrasonics Sonochemistry, 2018, 卷号: 40, 页码: 937-943
作者:  Jiao, Q. B.;  Zhu, C. L.;  Tan, X.;  Qi, X. D.;  Bayanheshig
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Surface roughness  Silicon echelle grating  Ultrasonic agitation  Surfactant additive  extreme-ultraviolet  si  agitation  alcohol  Acoustics  Chemistry  
Effects of ultrasonic agitation and surfactant additive on surface roughness of Si (111) crystal plane in alkaline KOH solution 期刊论文
Ultrasonics Sonochemistry, 2016, 卷号: 31
作者:  Jiao, Q. B.;  X. Tan;  J. W. Zhu;  S. L. Feng and J. X. Gao
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