中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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中科院长春光机所知识... [2]

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2016 [2]

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CIOMP OpenIR

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	Development of arc-edge tool lapping machine for grating ruling based on leverage load mode 期刊论文 Jixie Gongcheng Xuebao/Journal of Mechanical Engineering, 2016, 卷号: 52, 期号: 9 作者: Jirigalantu; X. Li; K. Liu; S. Zhang; Bayanheshig; X. Qi and Y. Tang 浏览 \| Adobe PDF(745Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：320/81 \| 提交时间：2017/09/11
	Research on temperature distribution of deep ultraviolet lithographic projection objective 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5 作者: Yao, C. and Y. Gong 浏览 \| Adobe PDF(8729Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：287/111 \| 提交时间：2017/09/11

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