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Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者:  Dong, L.;  Q. Cui;  P. Li and L. Zhao
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Characteristics of Modulation Transfer Function of PixelCoupling Between Array Fiber Image Bundles and Array CCD 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 5
作者:  He, X.;  L. Yuan;  C. Jin and X. Zhang
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Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  M. Pan;  Y. Song and W. Li
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Error analysis and eliminate methods for wavefront detection based on phase diversity algorithm 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 1
作者:  Yue, D.;  S. Xu;  H. Nie;  H. Ma and N. Liu
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Three-dimensional shape measuring for specular surface based on phase measuring deflectometry 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 2
作者:  Yuan, T.;  F. Zhang;  X. Tao and J. Fu
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Analysis and restraint of alignment error by stepped micro-mirror 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 3
作者:  Lu, J.;  J. Liang;  Z. Liang and Y. Qin
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Design of off-axis three-mirror optical system based on Wassermann-Wolf equations 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 12
作者:  Xu, F.;  W. Huang and M. Xu
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Method of segmented mirror co-phasing based on dispersed fringe sensing technology 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 9
作者:  Meng, Y.;  S. Xu and B. Xu
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Optical field analysis and diffraction restraint of microminiature fourier transform spectrometer 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 11
作者:  Lu, J.;  J. Liang;  Z. Liang and Y. Qin
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Compensation effect of radial preload on mirror deformation caused by gravity 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 4
作者:  Jia, S.;  W. Huang;  X. Xu and C. Yao
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