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Effect of deposition temperature on the structural and surface properties of AlN by plasma enhanced atomic layer deposition 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 4
作者:  Chen, F.;  X. Fang;  S. Wang;  S. Niu;  F. Fang;  D. Fang;  J. Tang;  X. Wang;  G. Liu and Z. Wei
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The effect of boron on the doping efficiency of nitrogen in ZnO 期刊论文
Journal of Alloys and Compounds, 2016, 卷号: 672
作者:  Chen, X. Y.;  Z. Z. Zhang;  B. Yao;  Y. G. Zhang;  Y. Gu;  P. C. Zhao;  B. H. Li and D. Z. Shen
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