Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 运放对压电陶瓷驱动电路系统精度影响的研究 | |
王学亮 ; 李佩玥; 郑楠; 崔洋
| |
| 2014-10-15 | |
| 发表期刊 | 电子测量技术
 |
| 期号 | 10页码:33-36 |
| 摘要 | 为了在光刻机投影物镜中使用压电陶瓷对像质补偿镜组进行精密定位,设计了一种以集成运算放大器构成的压电陶瓷驱动电路。针对光刻物镜中压电陶瓷的亚微米量级高精度定位要求,研究了驱动电路的系统精度要求,并对系统误差进行分解,着重分析了运算放大器放对系统精度的影响。首先,分析运放失调误差的影响;其次,使用PSpice仿真获得运放的固有频率特性,分析工作带宽下运放有限开环增益的影响;然后,对运放反馈网络的影响进行分析;最后,分析运放输出噪声的影响。计算表明,在最坏情况下该压电陶瓷驱动电路中由运算放大器引起的系统误差小于130mV,满足系统误差分配的要求。试制了系统样机并进行了验证实验,实验结果表明由运放引起的系统误差不超过100mV,与理论分析的结果符合。 |
| 关键词 | 光刻物镜 压电陶瓷 驱动电路 误差分析 亚微米 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43540 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王学亮,李佩玥,郑楠,等. 运放对压电陶瓷驱动电路系统精度影响的研究[J]. 电子测量技术,2014(10):33-36. |
| APA | 王学亮,李佩玥,郑楠,&崔洋.(2014).运放对压电陶瓷驱动电路系统精度影响的研究.电子测量技术(10),33-36. |
| MLA | 王学亮,et al."运放对压电陶瓷驱动电路系统精度影响的研究".电子测量技术 .10(2014):33-36. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 运放对压电陶瓷驱动电路系统精度影响的研究（422KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [王学亮]的文章 |
| [李佩玥]的文章 |
| [郑楠]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [王学亮]的文章 |
| [李佩玥]的文章 |
| [郑楠]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [王学亮]的文章 |
| [李佩玥]的文章 |
| [郑楠]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论