中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助

限定条件        
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Jones pupil decomposition and its lithographic imaging impacts 期刊论文
Applied Optics, 2021, 卷号: 60, 期号: 5, 页码: 1357-1365
作者:  Z. Niu;  M. Ding;  J. Jiang;  H. Shang;  S. Zhu;  F. Zhang;  W. Shi;  A. Zeng and H. Huang
Adobe PDF(10638Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：93/25  |  提交时间：2022/06/13
Method for exposure dose monitoring and control in scanning beam interference lithography 期刊论文
Applied Optics, 2021, 卷号: 60, 期号: 10, 页码: 2767-2774
作者:  Y. Song;  Y. Liu;  S. Jiang;  Y. Zhu;  L. Zhang and Z. Liu
浏览  |  Adobe PDF(3624Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：109/57  |  提交时间：2022/06/13