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Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
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Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
Effect and compensate of grating curvature radius error in Seya-Namioka monochromator 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 4, 页码: 623-629
作者:  Meng, Zhu;  Tan, Xin;  Bayanheshig;  Wang, Wei;  Liu, Zhao-Wu;  Zhao, Xu-Long
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Error compensation  Monochromators  Ray tracing  
Analysis of the mirror deformation of one-meter theodolite protective window 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 4, 页码: 654-661
作者:  Zhao, Xiao-Dong;  Wang, Jing
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Aberrations  Deformation  Friction  Interferometers  Metadata  Mirrors  Optical testing  Polynomials  Wavefronts