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Improved metal assisted chemical etching method for uniform, vertical and deep silicon structure 期刊论文
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2017, 卷号: 27, 期号: 5
作者:  Miao, B.;  J. Zhang;  X. Z. Ding;  D. M. Wu;  Y. H. Wu;  W. H. Lu and J. D. Li
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Polymeric microlens array fabricated with PDMS mold-based hot embossing 期刊论文
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2014, 卷号: 24, 期号: 9, 页码: 8
作者:  Liu Y. S.;  Zhang P.;  Deng Y. B.;  Hao P.;  Fan J. H.;  Chi M. B.;  Wu Y. H.
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Manufacture of a 2D optical fiber array coupler with micrometer precision for laser radar applications 期刊论文
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2014, 卷号: 25, 期号: 1
作者:  Chen H.;  Yu W.;  Wang T.;  Li H.;  Shen H.;  Yao Y.;  Desmulliez M. P. Y.
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Experimental investigation of passive micromixers conceptual design using the layout optimization method 期刊论文
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2013, 期号: 23
作者:  Liu Y.;  Deng Y.;  Zhang P.;  Liu Z.;  Wu Y.
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Microstructure formation in a thick polymer by electrostatic-induced lithography 期刊论文
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2013, 卷号: 23, 期号: 3
作者:  Liu G.;  Yu W.;  Li H.;  Gao J.;  Flynn D.;  Kay R. W.;  Cargill S.;  Tonry C.;  Patel M. K.;  Bailey C.;  Desmulliez M. P. Y.
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High-aspect-ratio metal microchannel plates for microelectronic cooling applications 期刊论文
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2010, 卷号: 20, 期号: 2
作者:  Yu W.;  Desmulliez M. P. Y.;  Drufke A.;  Leonard M.;  Dhariwal R. S.;  Flynn D.;  Bognar G.;  Poppe A.;  Horvath G.;  Kohari Z.;  Rencz M.
Adobe PDF(1997Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：595/97  |  提交时间：2012/10/21