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Study on top sulfur hyperdoping layer covering microstructured Si by fs-laser irradiation 期刊论文
Applied Surface Science, 2019, 卷号: 464, 页码: 502-508
作者:  K.Wang;  J.S.Gao;  H.G.Yang;  X.Y.Wang;  Y.C.Wang;  Z.Zhang
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Sulfur hyperdoping,Silicon,Femtosecond laser,Infrared absorption,infrared-absorption,silicon,photodetection,donor,Chemistry,Materials Science,Physics