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预通三甲基铝对AlN薄膜的结构与应变的影响(英文) 期刊论文
发光学报, 2012, 期号: 01, 页码: 82-87
作者:  贾辉;  陈一仁;  孙晓娟;  黎大兵;  宋航;  蒋红;  缪国庆;  李志明
caj(483Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：589/115  |  提交时间：2013/03/11
金属有机物气相沉积  Aln  预通三甲基铝(Tmal)  应力  
Effect of trimethyl-aluminum preflow on the structure and strain properties of AlN films 期刊论文
Faguang Xuebao/Chinese Journal of Luminescence, 2012, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 82-87
作者:  Jia H.;  Chen Y.-R.;  Sun X.-J.;  Li D.-B.;  Song H.;  Jiang H.;  Miao G.-Q.;  Li Z.-M.
Adobe PDF(590Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：661/131  |  提交时间：2013/03/27