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Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  M. Pan;  Y. Song and W. Li
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Detection and calculation of mosaic grating error based on wavefront method 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 5
作者:  Lu, Y.;  X. Qi;  X. Mi;  S. Jiang;  H. Yu;  X. Li and L. Yin
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Design of a varied-line-space plane grating in EUV spectrum 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 1
作者:  Jiang, Y.;  Bayanheshig;  S. Yang;  X. Zhao;  W. Li and N. Wu
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