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压电陶瓷迟滞非线性前馈补偿器 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2217-2223
作者:  方楚;  郭劲;  徐新行;  姜振华;  王挺峰
caj(412Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：396/104  |  提交时间：2017/09/17
压电陶瓷  迟滞非线性  前馈补偿器  Pi模型  Stop算子  
大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者:  陈琦
caj(653Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：290/92  |  提交时间：2017/09/17
扫描干涉光刻系统  高精度工作台  气体静压导轨  摩擦驱动  纳米级定位