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基于大位移柔性结构的动镜支撑机构设计及研究 期刊论文
红外与激光工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2595-2601
作者:  张明月;  杨洪波
caj(1168Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：300/84  |  提交时间：2015/04/17
支撑机构  簧片  寄生位移  固有频率  
光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析 期刊论文
光子学报, 2014, 期号: 4, 页码: 113-117
作者:  彭海峰;  孙振
caj(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：282/108  |  提交时间：2015/04/17
光刻物镜  光学元件  精密轴向调节  面形分析  柔顺铰链  固有频率特性