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光电控制间歇运动衍射光栅机控制系统的改造升级 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 05, 页码: 106-111
作者:  王炜;  杨厚民
caj(0Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：588/121  |  提交时间：2013/03/11
衍射光栅:4999  光栅刻划机:4628  光电控制:3958  间歇运动:3413  程控放大器:3301  机控制系统:2833  中断处理程序:1909  改进措施:1286  幅值细分:1090  数据采集:918  
接近式光刻中刻划间隙对刻线质量的影响分析 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 05, 页码: 112-116
作者:  付永启;  朱应时
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接近式光刻  刻划间隙  刻线质量  
异或门鉴相在计量光栅检测中的应用 期刊论文
计量技术, 1996, 期号: 09, 页码: 11-13
作者:  杨进堂
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异或门鉴相  计量光栅  刻划误差  
圆刻机轴系动态精度分析 期刊论文
仪器仪表学报, 1996, 期号: 04, 页码: 386-390+407
作者:  付永启;  张作梅
caj(161Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：394/47  |  提交时间：2013/03/11
圆光栅  码盘  连续刻划  精度分析  
极小刻划间隙下的衍射光强度变化规律分析 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 03, 页码: 91-94
作者:  付永启;  赵兴国
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极小刻划间隙  衍射  相对光强度  
动态目标发生器圆鼓图形光刻掩模板的研制 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 01, 页码: 29-32
作者:  付永启;  刘怀道
caj(104Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：525/59  |  提交时间：2013/03/12
动态目标发生器  圆鼓图形  光学刻划  掩模板