Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
动态目标发生器圆鼓图形光刻掩模板的研制 | |
付永启; 刘怀道 | |
1996-02-29 | |
发表期刊 | 光学精密工程 |
期号 | 01页码:29-32 |
关键词 | 动态目标发生器 圆鼓图形 光学刻划 掩模板 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32559 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 付永启,刘怀道. 动态目标发生器圆鼓图形光刻掩模板的研制[J]. 光学精密工程,1996(01):29-32. |
APA | 付永启,&刘怀道.(1996).动态目标发生器圆鼓图形光刻掩模板的研制.光学精密工程(01),29-32. |
MLA | 付永启,et al."动态目标发生器圆鼓图形光刻掩模板的研制".光学精密工程 .01(1996):29-32. |
条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
动态目标发生器圆鼓图形光刻掩模板的研制.(104KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
个性服务 |
推荐该条目 |
保存到收藏夹 |
查看访问统计 |
导出为Endnote文件 |
谷歌学术 |
谷歌学术中相似的文章 |
[付永启]的文章 |
[刘怀道]的文章 |
百度学术 |
百度学术中相似的文章 |
[付永启]的文章 |
[刘怀道]的文章 |
必应学术 |
必应学术中相似的文章 |
[付永启]的文章 |
[刘怀道]的文章 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论