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飞切多棱镜分度装置及其误差分析 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1992, 期号: 04, 页码: 8-12
作者:  张树仁;  陆博良
收藏  |  浏览/下载：289/0  |  提交时间：2013/03/11
超精密加工  多棱镜  分度装置  
纳米级光学超精密加工技术 期刊论文
物理, 1992, 期号: 12, 页码: 726-731
作者:  于劲;  曹健林
caj(332Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：437/66  |  提交时间：2013/03/11
超精密加工技术:7094  浮法抛光:3425  纳米级:3411  表面粗糙度:2834  Spdt:2615  离子束抛光:2163  亚纳米:1538  光电子学:1298  原子:1190  主轴:1127