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光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者:  陈华;  苏东奇;  隋永新;  章明朝;  田伟;  杨怀江;  张巍
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成像系统  热像差  主动补偿  光刻机  投影物镜  
高精度曲率半径测量研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2014, 期号: 1, 页码: 105-111
作者:  彭石军;  苗二龙;  史振广;  陈华;  隋永新;  杨怀江
caj(2325Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：323/66  |  提交时间：2015/04/17
测量  曲率半径  轴向对准误差  环境补偿  菲佐干涉仪