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8.0nm X射线激光反射镜Mo/B-4C多层膜制备及其特性 期刊论文
原子能科学技术, 1999, 期号: 04, 页码: 343-345
作者:  吕俊霞;  马月英;  裴舒;  沈长斌;  曹健林;  陈星旦
caj(68Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:377/65  |  提交时间:2013/03/11
软x射线  Mo/b_4c多层膜 磁控溅射法