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深紫外光刻照明系统扩束单元设计 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122004-1
作者:  赵阳;  巩岩;  张巍
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投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析 期刊论文
光学学报, 2011, 期号: 10, 页码: 33-38
作者:  张巍;  巩岩
caj(378Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：388/84  |  提交时间：2013/03/11
衍射  衍射光学元件  光束整形  矢量角谱  偏振