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用于衍射光栅刻划的超精密金刚石刻刀的研制 期刊论文
微细加工技术, 2006, 卷号: 12, 期号: 6, 页码: 1
作者:  李英海;  巴音贺希格;  齐向东
caj(434Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：354/70  |  提交时间：2012/09/25
基于MEMS的无阀泵的数值仿真与参数设计 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 5
作者:  白兰;  冯志庆;  吴一辉
caj(543Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：435/71  |  提交时间：2012/09/25
Mems  微型无阀泵  数值仿真  参数设计  
一维压电式微定位机构的设计研究 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 3
作者:  孙宝玉;  刘虹;  梁淑卿
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微定位机构  压电陶瓷  柔性铰链  数字闭环控制  
平面微电机定子线圈制作工艺研究 期刊论文
微细加工技术, 2006, 卷号: 3, 期号: 3, 页码: 27
作者:  吴一辉;  王淑荣
caj(445Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：498/66  |  提交时间：2012/09/25
一种PDMS微混合器的制备及性能分析 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 2
作者:  李淑娴;  吴一辉;  贾宏光;  张平;  王淑荣;  宣明
caj(291Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：422/62  |  提交时间：2012/09/25
微混合器  Pdms  模压  透射比  混合  
基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 2
作者:  刘利娜;  贾宏光;  王淑荣;  吴一辉
caj(70Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：411/74  |  提交时间：2012/09/25
微全分析系统  双功能温控芯片  Mems  温度控制  
基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 1
作者:  何林;  吴一辉;  张平;  宣明
caj(965Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：296/49  |  提交时间：2012/09/25
微型全分析系统(Μtas)  血细胞分离  微过滤器  Mems  微分离技术  
微光机械振动传感器的设计与制作 期刊论文
微细加工技术, 2006, 卷号: 1, 期号: 1, 页码: 61
作者:  张平
caj(189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：294/31  |  提交时间：2012/09/25