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大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者:  陈琦
caj(653Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：315/98  |  提交时间：2017/09/17
扫描干涉光刻系统  高精度工作台  气体静压导轨  摩擦驱动  纳米级定位  
Structure design of nanometer positioning stage with a large stroke 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者:  Chen, Q.
浏览  |  Adobe PDF(791Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：370/116  |  提交时间：2017/09/11
激光聚焦小型三自由度并联机构分析及控制策略研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  王施相
Adobe PDF(2180Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：189/3  |  提交时间：2016/04/11
激光聚焦  3-prs并联机构  运动学  动力学  控制策略  联合仿真  
压电陶瓷驱动精密摆镜控制系统的研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵广义
Adobe PDF(1437Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：579/2  |  提交时间：2015/05/03
压电陶瓷  两维摆镜  动态迟滞模型  前馈pid 控制