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Study on main factors affecting position detection accuracy of four-quadrant detector 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 12
作者:  Zhang, H.;  Y. Chen;  T. Geng;  J. Wu and T. Chen
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压电陶瓷两维偏摆镜驱动系统的设计 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  吴伊玲
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压电陶瓷  两维偏摆镜  驱动控制系统  改进非对称pi迟滞模型  前馈pid控制  
菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  毛石磊
Adobe PDF(3933Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：314/2  |  提交时间：2016/04/11
菲索干涉仪  移相器  微位移  柔性铰链  压电陶瓷