中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
一种用于ＥＵＶ光刻系统的复眼反射镜制作方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-21, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  金春水;  王辉;  郑琪峰;  周烽;  王丽萍
Adobe PDF(266Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：521/88  |  提交时间：2012/08/29
Analysis of Multi-Micromirrors Tilt Error in Space-Modulated Fourier Transform Infrared Spectrometry 期刊论文
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2012, 卷号: 32, 期号: 7, 页码: 1999-2002
作者:  Zheng Y.;  Liang J. Q.;  Liang Z. Z.
Adobe PDF(769Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：448/85  |  提交时间：2013/03/27