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极紫外投影光刻两镜微缩投影系统的光学设计 期刊论文
光电工程, 2007, 期号: 12
作者:  金春水
Unknown(274Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：556/197  |  提交时间：2012/09/25
基于PSD的微位移传感器 期刊论文
传感器与微系统, 2007, 期号: 3
作者:  梁凤超
caj(138Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：391/61  |  提交时间：2012/09/25