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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [2]
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专利 [2]
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1992 [2]
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模拟太阳光装置 (发明)
专利
专利类型: 发明专利, 专利号: 1059408, 申请日期: 1992-03-11, 公开日期: 2012-09-14
发明人:
赵吉林
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郎奎亨
;
周秀良
;
郎永志
;
**德成
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提交时间:2012/09/14
大面积紫外光刻(曝光)方法及其装置 (发明)
专利
专利类型: 发明专利, 专利号: 1059039, 申请日期: 1992-02-26, 公开日期: 2012-09-14
发明人:
仲跻功
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提交时间:2012/09/14