中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
极紫外光学器件辐照污染检测技术 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 79-88
作者:  王珣;  金春水;  匡尚奇;  喻波
caj(413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：447/159  |  提交时间：2015/04/17
极紫外光刻  碳污染检测  光纤椭偏仪  
光栅参数测量技术研究进展 期刊论文
中国光学, 2011, 期号: 02, 页码: 103-110
作者:  刘洪兴;  张巍;  巩岩
caj(428Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：448/129  |  提交时间：2013/03/11
光栅  光栅参数测量  原子力显微镜  扫描电子显微镜  激光衍射仪  椭偏仪