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超薄光学元件精密加工关键技术 期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 06, 页码: 964-970
作者:  彭利荣;  马占龙;  王高文;  王飞;  王东方
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超薄镜  精密铣磨  精密抛光  离子束精修  误差补偿  
编码器动态检测系统高实时性高精度角度基准设计 期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 03, 页码: 447-455
作者:  于海;  万秋华;  王树洁;  卢新然;  杜颖财
caj(307Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:397/99  |  提交时间:2016/07/06
动态检测  角度基准  快速细分  高精度  误差补偿