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| Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11 作者: Song, Y.; Q.-P. Lu; X.-P. Gong; Y. Wang and Z.-Q. Peng 浏览  |  Adobe PDF(603Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:314/113  |  提交时间:2018/06/13 |
| Radiation calibration of EUV space cameras 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5 作者: He, L.-P.; B. Chen; H.-J. Zhang; S.-J. Liu and X.-G. Wang 浏览  |  Adobe PDF(333Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:370/121  |  提交时间:2017/09/11 |
| Measurement of thickness uniformity of optic multilayer based on surface figure measurement 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 7 作者: Wang, H.; F. Zhou; B. Yu; Y. Xie; J. Yu; Y. Liu and L. Wang 浏览  |  Adobe PDF(1398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:327/96  |  提交时间:2016/08/24 |
| 球面微通道板在极紫外波段的量子探测效率 期刊论文 光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 11, 页码: 2596-2602 作者: 尼启良; 陈斌; 王海峰 Adobe PDF(471Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:478/109  |  提交时间:2012/05/11 |
| 小型高精度软X射线_极紫外反射率计 期刊论文 光学精密工程, 2008, 期号: 10 作者: 尼启良; 刘世界; 陈波 caj(231Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:472/76  |  提交时间:2012/09/25 |
| 13_9和19_6nm正入射Mo_Si多层膜反射镜的反射率测量 期刊论文 光学精密工程, 2008, 期号: 9 作者: 董宁宁 caj(434Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:242/59  |  提交时间:2012/09/25 |
| 极紫外单色仪波长定标 期刊论文 光学精密工程, 2008, 期号: 9 作者: 董宁宁 caj(264Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:336/63  |  提交时间:2012/09/25 |
| 光学散射法表面特征的测量与分析 期刊论文 红外与激光工程, 2006, 卷号: 1, 期号: 35, 页码: 82 作者: 陈波 Unknown(75Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:322/132  |  提交时间:2012/09/25 |