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Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者:  Song, Y.;  Q.-P. Lu;  X.-P. Gong;  Y. Wang and Z.-Q. Peng
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Radiation calibration of EUV space cameras 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者:  He, L.-P.;  B. Chen;  H.-J. Zhang;  S.-J. Liu and X.-G. Wang
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Measurement of thickness uniformity of optic multilayer based on surface figure measurement 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 7
作者:  Wang, H.;  F. Zhou;  B. Yu;  Y. Xie;  J. Yu;  Y. Liu and L. Wang
浏览  |  Adobe PDF(1398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:327/96  |  提交时间:2016/08/24
球面微通道板在极紫外波段的量子探测效率 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 11, 页码: 2596-2602
作者:  尼启良;  陈斌;  王海峰
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小型高精度软X射线_极紫外反射率计 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 10
作者:  尼启良;  刘世界;  陈波
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13_9和19_6nm正入射Mo_Si多层膜反射镜的反射率测量 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 9
作者:  董宁宁
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极紫外单色仪波长定标 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 9
作者:  董宁宁
caj(264Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:336/63  |  提交时间:2012/09/25
光学散射法表面特征的测量与分析 期刊论文
红外与激光工程, 2006, 卷号: 1, 期号: 35, 页码: 82
作者:  陈波
Unknown(75Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:322/132  |  提交时间:2012/09/25