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用于光刻投影物镜检测的高精度菲佐干涉仪误差分析 期刊论文
中国激光, 2010, 卷号: 37, 期号: 8, 页码: 2029-2034
作者:  苗二龙;  谷永强;  康玉思;  刘伟奇
caj(268Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：324/65  |  提交时间：2012/09/25
应用多模式组合加工技术修正大口径非球面环带误差 期刊论文
光学精密工程, 2010, 卷号: 18, 期号: 7, 页码: 1460-1467
作者:  谢京江;  李俊峰;  宋淑梅;  陈亚
caj(1502Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：277/62  |  提交时间：2012/09/25
大口径光学元件的机械手抛光 期刊论文
光学精密工程, 2010, 卷号: 18, 期号: 5, 页码: 1077-1085
作者:  谢京江;  陈亚;  宣斌;  宋淑梅
caj(1511Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：330/66  |  提交时间：2012/09/25
光学元件离子束加工驻留时间优化求解 期刊论文
光学学报, 2010, 卷号: 30, 期号: 1, 页码: 192-197
作者:  卢振武;  张红鑫
caj(543Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：335/37  |  提交时间：2012/09/25