Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 应用多模式组合加工技术修正大口径非球面环带误差 | |
谢京江 ; 李俊峰; 宋淑梅; 陈亚
| |
| 2010-07-20 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
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| ISSN | 1004-924X |
| 卷号 | 18期号:7页码:1460-1467 |
| 摘要 | 为了满足大口径非球面光学元件加工的需求,提出了用多模式组合加工(MCM)技术修正大口径非球面反射镜环带误差的方法。本文讨论的MCM技术以经典加工工艺为基础,采用抛光盘的多工位加工和抛光模式的组合完成光学元件的抛光,实现对光学表面中低频段误差的有效控制。介绍了MCM技术的重要组成部分JP-01抛光机械手的工作原理,分析了MCM的工作模式。采用MCM技术对Φ1230mm的非球面反射镜进行环带误差的修正,给出了镜面面形检测结果。实验结果表明,MCM技术可以有效地控制光学表面的中低频误差,使光学表面误差得到有效收敛,从而显著提高抛光效率。目前,采用MCM技术加工1～2m口径的同轴非球面,其精度可以达到30nm(RMS)。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23597 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谢京江,李俊峰,宋淑梅,等. 应用多模式组合加工技术修正大口径非球面环带误差[J]. 光学精密工程,2010,18(7):1460-1467. |
| APA | 谢京江,李俊峰,宋淑梅,&陈亚.(2010).应用多模式组合加工技术修正大口径非球面环带误差.光学精密工程,18(7),1460-1467. |
| MLA | 谢京江,et al."应用多模式组合加工技术修正大口径非球面环带误差".光学精密工程 18.7(2010):1460-1467. |
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