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X射线干涉光刻光束线关键光学元件热-结构耦合分析 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 10, 页码: 2347-2354
作者:  龚学鹏;  卢启鹏
caj(1505Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：324/129  |  提交时间：2016/07/06
X射线干涉光刻  热分析  数值模拟  同步辐射  
光刻物镜波像差检测球面波发生装置的研制 期刊论文
仪器仪表学报, 2014, 期号: 7, 页码: 1518-1524
作者:  齐克奇;  向阳
caj(899Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：455/81  |  提交时间：2015/04/17
光刻物镜  波像差  剪切干涉  针孔  有限元方法  
一种二维光栅干涉仪的研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2001, 期号: 03, 页码: 272-276
作者:  赵博;  晏磊;  郝德阜
caj(113Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：426/88  |  提交时间：2013/03/11
正交衍射光栅  透射光栅  光栅干涉仪  
大尺寸高质量光学玻璃均匀性的检测装置 期刊论文
仪器仪表学报, 1998, 期号: 06, 页码: 78-80
作者:  杨文库;  邓文荣;  杨宇晶
caj(30Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：492/84  |  提交时间：2013/03/11
干涉仪:6683  检测装置:4375  光学玻璃:3341  光学均匀性:3078  大尺寸:2521  干涉条纹:2248  高质量:1290  主反射镜:995  球面反射镜:887  多光束:824  
双向剪切干涉法检测光束准直性 期刊论文
仪器仪表学报, 1997, 期号: 04, 页码: 109-112
作者:  杨志文
caj(48Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：452/69  |  提交时间：2013/03/11
光束准直:5735  双向剪切:5049  干涉条纹:4780  剪切干涉法:2823  检测灵敏度:2067  离焦量:1855  准直物镜:1170  准直性:773  剪切方向:769  检测精度:698  
压电位移器位移速度的实时自动测量 期刊论文
仪器仪表学报, 1995, 期号: 04, 页码: 427-430
作者:  王文生
caj(112Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：381/49  |  提交时间：2013/03/11
干涉条纹:7063  电位移:4726  位移速度:4023  空气折射率:1598  探测点:1443  扫描干涉:1368  电视监示器:1323  反射镜:1238  自动测量:960  条纹强度:923  
用四个干涉图法测压力鼓变形滞后线 期刊论文
仪器仪表学报, 1995, 期号: 01, 页码: 42-46
作者:  王文生
caj(173Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：310/67  |  提交时间：2013/03/11
四个干涉图法:7767  计算全息图:3963  变形滞后:2787  全息干涉术:1848  全息干涉图:1731  干涉条纹:1483  参考光束:1474  表面变形:1372  计算机控制:1368  光导热塑料:1283  
应用三干涉图法测物体变形全信息 期刊论文
仪器仪表学报, 1990, 期号: 03, 页码: 263-267
作者:  王文生
caj(183Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：391/53  |  提交时间：2013/03/11
计算全息图:6067  实时全息术:3878  象面全息图:3480  全息干涉图:3102  位相移动:2997  干涉条纹:2361  实时全息干涉术:2067  获得物:1847  参考光束:1712  计算机控制:1107  
用泰曼干涉仪实时自动测厚度变化 期刊论文
仪器仪表学报, 1989, 期号: 01, 页码: 43-47
作者:  王文生
caj(175Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：292/38  |  提交时间：2013/03/11
干涉测长:5101  自动测试:4008  测试技术:3576  干涉系统:3379  计算机控制:3193  测试结果:2548  物体:2276  电视监视器:2067  参考反射镜:2036  仪器仪表:1838