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Radial-quality uniformity investigations of large-area thick Al films 期刊论文
Optical Engineering, 2015, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 6
作者:  Yang, H. G.;  Z. Z. Li;  X. Y. Wang;  Z. F. Shen;  J. S. Gao and S. W. Zhang
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Calibrating the pupil fill balance for hypernumerical aperture lithographic objective 期刊论文
Optical Engineering, 2015, 卷号: 54, 期号: 9, 页码: 6
作者:  Rui, D. W.;  W. Zhang and H. J. Yang
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