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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [3]
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期刊论文 [3]
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2003 [1]
2001 [1]
1999 [1]
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光学仪器 [3]
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出处:光学仪器
文献类型:期刊论文
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偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调
期刊论文
光学仪器, 2003, 期号: 04, 页码: 39-43
作者:
林强
;
金春水
;
向鹏
;
马月英
;
裴舒
;
曹健林
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提交时间:2013/03/11
极紫外投影光刻
Schwarzschild投影物镜
计算机辅助装调
软X射线激光多层膜均匀性控制技术
期刊论文
光学仪器, 2001, 期号: Z1, 页码: 154-160
作者:
林炳
;
金春水
;
马月英
;
裴舒
;
曹健林
caj(103Kb)
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浏览/下载:386/67
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提交时间:2013/03/11
软x射线激光
多层膜
均匀性控制
C/Al软X射线多层膜反射镜的制备与测量
期刊论文
光学仪器, 1999, 期号: Z1, 页码: 119-122
作者:
吕俊霞
;
马月英
;
裴舒
;
曹健林
caj(50Kb)
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提交时间:2013/03/11
软x射线
多层膜反射镜