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离子辅助沉积法制备SiO_2介质薄膜的应力研究 期刊论文
发光学报, 2012, 期号: 12, 页码: 1304-1308
作者:  张金胜;  张金龙;  宁永强
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离子辅助沉积  Sio2薄膜  应力  退火  
AlN插入层对a-AlGaN的外延生长的影响(英文) 期刊论文
发光学报, 2012, 期号: 05, 页码: 519-524
作者:  贾辉;  陈一仁;  孙晓娟;  黎大兵;  宋航;  蒋红;  缪国庆;  李志明
caj(314Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：871/155  |  提交时间：2013/03/11
A-algan  Aln插入层  应力  拉曼光谱  光致发光  
预通三甲基铝对AlN薄膜的结构与应变的影响(英文) 期刊论文
发光学报, 2012, 期号: 01, 页码: 82-87
作者:  贾辉;  陈一仁;  孙晓娟;  黎大兵;  宋航;  蒋红;  缪国庆;  李志明
caj(483Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：719/119  |  提交时间：2013/03/11
金属有机物气相沉积  Aln  预通三甲基铝(Tmal)  应力