Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 离子辅助沉积法制备SiO_2介质薄膜的应力研究 | |
张金胜; 张金龙 ; 宁永强
| |
| 2012-12-15 | |
| 发表期刊 | 发光学报
 |
| 期号 | 12页码:1304-1308 |
| 关键词 | 离子辅助沉积 Sio2薄膜 应力 退火 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27913 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张金胜,张金龙,宁永强. 离子辅助沉积法制备SiO_2介质薄膜的应力研究[J]. 发光学报,2012(12):1304-1308. |
| APA | 张金胜,张金龙,&宁永强.(2012).离子辅助沉积法制备SiO_2介质薄膜的应力研究.发光学报(12),1304-1308. |
| MLA | 张金胜,et al."离子辅助沉积法制备SiO_2介质薄膜的应力研究".发光学报 .12(2012):1304-1308. |
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