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光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析 期刊论文
光电工程, 2013, 期号: 02, 页码: 71-75
作者:  彭海峰;  巩岩;  赵磊
caj(1322Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：389/88  |  提交时间：2014/03/07
光刻投影物镜  多弹片支撑结构  自重变形  面形分析  
高精度6inchF/5.4球面标准具结构研究与设计 期刊论文
光电工程, 2011, 卷号: 38, 期号: 5, 页码: 69-74
作者:  田伟;  史振广;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(2093Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：405/132  |  提交时间：2012/05/11