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碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者:  王依;  卢启鹏;  高云国
caj(173Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：345/119  |  提交时间：2018/04/09
薄膜  极紫外光刻  碳污染  清洗技术  反射率  
基于硅基液晶实现激光投影显示系统匀光整形和散斑抑制 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 20-26
作者:  梁传样;  张巍;  芮大为;  隋永新;  杨怀江
caj(1669Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：383/126  |  提交时间：2017/09/17
激光光学  衍射光学  散斑抑制  空间光调制器  衍射光学元件  激光投影显示