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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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Rapid fabrication of a lightweight 2m reaction-bonded SiC aspherical mirror
期刊论文
Results in Physics, 2018, 卷号: 10, 页码: 903-912
作者:
Li, L. X.
;
Liu, Z. Y.
;
Xue, D. L.
;
Deng, W. J.
;
Li, R. G.
;
Bai, Y.
;
Zeng, X. F.
;
Zhang, X. J.
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提交时间:2019/09/17
Computer controlled polishing
Silicon carbide mirror
Surface error
Magnetorheological finishing
Large polishing lap
dwell time algorithm
material removal
tool
path
Materials Science
Physics
High-performance etching of multilevel phase-type Fresnel zone plates with large apertures
期刊论文
Optics Communications, 2018, 卷号: 407, 页码: 227-233
作者:
Guo, C. L.
;
Zhang, Z. Y.
;
Xue, D. L.
;
Li, L. X.
;
Wang, R. Q.
;
Zhou, X. G.
;
Zhang, F.
;
Zhang, X. J.
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提交时间:2019/09/17
Fresnel zone plate
Diffractive optical elements
Etching depth
uniformity
Ion beam etching
Dwell time algorithm
dwell-time algorithm
dielectric gratings
fabrication errors
x-ray
ion
Optics