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纳米X－Y工作台固有频率特性的研究 期刊论文
光学精密工程, 1995, 期号: 06, 页码: 50-54
作者:  吴一辉;  杨洪波
caj(169Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：635/55  |  提交时间：2013/03/11
纳米定位  X—y工作台  固有频率特性