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极紫外投影光刻原理装置的集成研究 期刊论文
光学学报, 2002, 期号: 07, 页码: 852-857
作者:  金春水;  马月英;  裴舒;  曹健林
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极紫外  极紫外投影光刻  多层膜反射镜  Schwarzschild物镜  
18.2nm Schwarzschild显微物镜用多层膜带宽匹配问题分析 期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 03, 页码: 14-18
作者:  王占山
caj(35Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：394/53  |  提交时间：2013/03/11
软x射线多层膜  Schwarzschild物镜  带宽匹配