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p-Si薄膜生长的ECR-CVD等离子体系统的结构设计 期刊论文
液晶与显示, 2004, 期号: 03, 页码: 199-201
作者:  殷景志;  龙北红;  邵丽梅;  阮圣平;  胡立发;  刘永刚;  宣丽
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电子回旋共振  微波等离子体  P-si薄膜  
激光退火法低温制备多晶硅薄膜的研究 期刊论文
液晶与显示, 2000, 期号: 01, 页码: 46-52
作者:  刘传珍;  杨柏梁;  李牧菊;  吴渊;  张玉;  李轶华;  邱法斌;  黄锡珉
caj(319Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：461/82  |  提交时间：2013/03/11
P-si薄膜  激光退火  能量密度