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p-Si薄膜生长的ECR-CVD等离子体系统的结构设计 期刊论文
液晶与显示, 2004, 期号: 03, 页码: 199-201
作者:  殷景志;  龙北红;  邵丽梅;  阮圣平;  胡立发;  刘永刚;  宣丽
caj(28Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：418/54  |  提交时间：2013/03/11
电子回旋共振  微波等离子体  P-si薄膜