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磁控溅射法制备Mo/B_4C软X射线多层膜 期刊论文
真空科学与技术, 1999, 期号: 02, 页码: 67-69
作者:  吕俊霞;  马月英;  裴舒;  曹健林;  陈星旦
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软x射线多层膜  磁控溅射  Mo/b4c  
8.0nm附近Mo/B4C软X射线多层膜初步研究 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 05, 页码: 37-41
作者:  吕俊霞;  曹健林
caj(0Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:403/39  |  提交时间:2013/03/12
软x射线  Mo/b4c多层膜  磁控溅射