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大面积高质量中阶梯光栅厚铝膜特性和制备工艺研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  孙梦至
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中阶梯光栅  高质量铝膜  大面积均匀性  多步沉积  
具有大面积均匀性、高质量的大尺寸中阶梯光栅铝膜的研究 期刊论文
物理学报, 2014, 期号: 15, 页码: 396-401
作者:  李资政;  杨海贵;  王笑夷;  高劲松
caj(2578Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：394/90  |  提交时间：2015/04/17
中阶梯光栅  高质量铝膜  大面积均匀性  表面粗糙度