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静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 02, 页码: 344-351
作者:  张鹏;  金光;  张元;  钟兴
caj(800Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：419/117  |  提交时间：2013/03/11
静电拉伸薄膜  薄膜反射镜  成形控制  反演求解  
静电拉伸薄膜反射镜成形机理研究 期刊论文
半导体光电, 2007, 期号: 4
作者:  孙小伟;  齐迎春;  金光
caj(293Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：373/78  |  提交时间：2012/09/25
静电拉伸薄膜反射镜  平板电容  半球模型  薄膜变形