Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 静电拉伸薄膜反射镜成形机理研究 | |
| 孙小伟; 齐迎春; 金光 | |
| 2007-08-15 | |
| 发表期刊 | 半导体光电
 |
| ISSN | 1001-5868 |
| 期号 | 4 |
| 摘要 | 静电拉伸薄膜反射镜是利用静电场库仑力作用使薄膜产生面形变化,生成所需的光学曲面。由于薄膜反射镜成形过程中力场与静电场的相互耦合作用非常复杂,使其到目前为止在面形控制的理论分析上仍未有定量的结果。首先以平板电容理论为基础,对薄膜成形静电力场进行了近似分析,然后根据半球模型求解了薄膜结构变形,最终得到了薄膜反射镜面形尺寸与静电压参数的函数关系。所得结论对静电拉伸薄膜的研究工作具有一定的指导意义。 |
| 关键词 | 静电拉伸薄膜反射镜 平板电容 半球模型 薄膜变形 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21332 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙小伟,齐迎春,金光. 静电拉伸薄膜反射镜成形机理研究[J]. 半导体光电,2007(4). |
| APA | 孙小伟,齐迎春,&金光.(2007).静电拉伸薄膜反射镜成形机理研究.半导体光电(4). |
| MLA | 孙小伟,et al."静电拉伸薄膜反射镜成形机理研究".半导体光电 .4(2007). |
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| 静电拉伸薄膜反射镜成形机理研究.caj（293KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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